**氦气紧张状况,特种气体是光电子、微电子等领域,特别是**大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的性和准确性。半导体照明是正处于方兴未艾的产业,随着化合物半导体市场的扩展,特种气体的需求呈现更大的增长,高纯氧气标准,外延生长需要大量的**纯源和过程气体。
高纯氩气的国家履行标准是GB/T10624—1995,高纯氧气袋,质量要求到达99.999%以上。氩气是采用空气分离提氩,即将液化的空气进行精馏,得到粗氩.抽出粗氩,经进一步提纯可得到高纯氩,高纯氩在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
高纯氦气高压低温冷凝、吸附法是一种经典可靠的纯化技能,该技能工艺老练,被广泛应用在高纯度高纯氦气的提纯工艺中。高纯氧气用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源和出产高纯水的试的剂;干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应留意高纯氧气的安全,并应做好防震,防火,耐热和防油等作业。高纯氧气能够促进燃烧。应将其保存在阴凉处。禁止触摸烟的花和宜燃材料。请勿在氧气计的螺旋形嘴上放油。