更多的科学家尝试用其他的制冷方式来代替液氦制冷。比如用无液氦的制冷机来达到**导磁体的工作温度。相对于液氦制冷,制冷机的氦需求量很低(用作制冷机的制冷气体),制冷机主要通过冷桥与磁体相连,采用的是热传导的制冷方式,而液氦主要是将磁体浸泡其中,对流制冷起很大作用。然而这种方法目前还没有真正用于仪。有研究人员表示,液氦制冷的优势现在比较明显:制冷效果稳定,对于成像要求条件苛刻的设备,这点很重要。制冷机的稳定性不如液氦,*受到扰动影响,这对成像是不利的。但他也表示,随着技术的进一步发展、成熟,制冷机代替液氦制冷也并非不可能。
液态氦气沸点较低,当温度降至2.178K时,就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦,此时的液态氦气被称为**流体。液态氦气已实际应用在许多晶圆处理程序步骤中,氩气多少钱一瓶,它可在高压气相化学沉积(HP-CVD)以及蚀刻程序上作为晶背冷却之用,并且它也可用作为携载气体应用在CVD以沉积抗反射层、氧氮化合物及其它薄膜用。
配气用的柱射器必须气密性好,死体积小,氩气瓶,制度准确。配气前放一小片聚薄片,以备搅拌用。柱射器配气法虽然简便易行,配制某些标准气体时浓度也很准确,随州氩气,但是,充氩气,由于受柱射器内壁吸附、死体积大和液体挥发不完全等因素的影响,配制的气体浓度误差较大,许多**化合物的标准气体都不宜用该法配制。用挥发性液体配气时,尤其要经过验证合格后才能用柱射器配气。