应用于LED产业的特种气体半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类,主要包括:(1)硅族气体:含硅基的类,如(SiH4)、二氯二硅(SiH2Cl2)、乙(Si2H6)等。(2)掺杂气体:含硼、磷、等三族及五族原子之气体,如(BCl3)、、磷烷(PH3)、烷(AsH3)等。
配气用的柱射器必须气密性好,死体积小,制度准确。配气前放一小片聚薄片,以备搅拌用。柱射器配气法虽然简便易行,配制某些标准气体时浓度也很准确,但是,由于受柱射器内壁吸附、死体积大和液体挥发不完全等因素的影响,配制的气体浓度误差较大,许多**化合物的标准气体都不宜用该法配制。用挥发性液体配气时,尤其要经过验证合格后才能用柱射器配气。
液态气体在组装、连接液氧汽化设备过程中,增设了防爆墙,襄阳伙牌高纯,但由于原切换阀和压力表等没有移设,所以这个防爆墙没有发挥很好的作用。这次为从根本上解决问题,在增设充填卡具接头的同时,我们将两组切换阀、压力表等移到防爆墙北侧,发挥了防爆墙的作用。改用聚高压金属软管,撤掉原内壁氧气是可燃物质的高压橡胶软管,改换上内壁是聚四的高压金属软管,高纯多少钱一瓶,杜绝可燃物质。虽然高压金属软管价格贵一些(高压金属软管每根180元左右,高压橡胶软管每根98元左右),但具有耐老化、耐腐蚀、耐弯曲、保全等优点。